AL120 Wafer Handler 시리즈는 실리콘과 컴파운트 반도체 웨이퍼를 카세트로부터 현미경의 스테이지에 안전하게 운송시켜 제품 검사의 작업 시간을 줄여주는 유용한 장비입니다. 인체공학적인 디자인으로 더욱더 사용하기 쉽게 기능적으로 향상시켜 편리성을 증대시켰습니다.
| 정밀한 유연성 | |
| 다양한 크기의 웨이퍼 대응 | |
| 다양한 웨이퍼 크기를 수용할 수있는 능력은 fab의 확장을 위한 중요합니다. AL120 시리즈는 웨이퍼 직경에 따라 200mm (AL120 - L8), 150mm 와 200mm (AL120 - L86) 및 150mm 이하 (AL120 - L6)의 웨이퍼 크기 150mm 모델로 3가지로 구성되어 있습니다. 각 시스템은 웨이퍼 전송 및 현미경 검사를 위해 설계되었습니다. Top면과 Back면 매크로 검사는 모든 웨이퍼 크기에 사용할 수 있습니다. | |
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| 웨이퍼 크기와 두께 | |
| 얇은 웨이퍼 검사 | |
| 얇은 웨이퍼를 생산하는 업체의 요구에 맞도록, 새롭게 설계된 암(arm)을 갖춘 AL120-LMB-90 모델은 90µm 풀 카세트 웨이퍼를 다룰 수 있습니다. | |
| 소프트웨어 제어를 위한 시리얼 인터페이스 | |
| 검사 파라미터와 AL120의 레시피는 옵션 RS232C 시리얼 인터페이스를 통해 제어할 수 있습니다. 장비 제조업체와 Fab에서는 내부 검사용 소프트웨어와 AL120 웨이퍼 핸들러로 자동화 및 효율성을 강화시킬 수 있습니다. 시리얼 인터페이스는 동적 링크 라이브러리(DLL)을 사용하여 특정 소프트웨어와의 통합을 간단하게 만들어 줍니다. | |
| 정밀한 기능 | |
| 강화된 매크로 검사 | |
| MX 시리즈는 150-300mm 크기의 큰 샘플 관찰용 입니다. | |
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•매크로 검사는 웨이퍼의 완벽한 매크로 검사를 위해 top면과 back면에 결함과 파티클을 쉽게 찾아낼 수 있도록 자동으로 360도를 회전할 수 있는 기능을 갖고 있는 것이 특징입니다. •포함된 조이스틱으로 top면의 매크로 검사동안 기울기를 조종할 수 있습니다. 사용자는 검사결과에 최적으로 알맞은 웨이퍼의 각도를 조절할 수 있습니다. |
| 매크로 검사 - 360 도 회전 ( 시뮬레이션 ) | |
| 손쉬운 사용법 | |
| •다양한 검사 방법의 요구를 충족시키기 위해 AL120는 10개의 프로그램 가능한 시스템을 갖고 있어 특정 카세트 타입, 웨이퍼 규격과 전송속도등을 설정할 수 있습니다. 빠른 선택버튼은 사용자가 즉시 다른 제품을 로드 할 수 있게 합니다. •웨이퍼 핸들러의 파라미터와 레시피 설정값들은 LCD 디스플레이에 표시됩니다. 사용자는 검사 전과 후의 검사결과값들을 바로 확인 할 수 있습니다. •AL120은 웨이퍼의 청결도 향상을 위해 비접촉식의 광학 센터링과 notch/flat 탐지 및 웨이퍼와 장비사이에 접촉을 최소화 시켜줍니다. |
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| 정밀한 신뢰성 | |
| 웨이퍼와 사용자의 안전성 | |
| •AL120 디자인은 웨이퍼 안전성을 극대화하고 고급 안전 기능을 갖고 있습니다.
3 센서 시스템은 전송절차간 안전하고 적절한 검색,전송,로딩, 언로딩을 통하여 지속적으로 웨이퍼의 위치를 모니터링 합니다. 이 특징은 한개의 슬롯에 하나 이상의 웨이퍼가 로드되어 사고가 발생하는 피해를 방지합니다. •인체공학적이며 안전하고 환경을 고려한 디자인 AL120은 SEMI S2와 S8 기준과 RoHS 를 준수합니다. |
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| 강력하고 신뢰성 있는 현미경 플랫폼 | |
| AL120은 명시야, 암시야, 미분 간섭, 근적외선과 DUV(Deep Ultraviolet)의 관찰 방법을 통해 뛰어난 이미지 해상도와 선명도를 제공하는 웨이퍼 검사 전용 현미경 OLYMPUS MX 시리즈와 호환되서 사용가능합니다. 전동 대물렌즈 터렛와 조리개조절은 각 렌즈에 맞는 최적의 조명과 contrast를 조절하여 줍니다. 또한 AL120은 특별 주문에 따라 다른 다른 현미경 모델에도 적용할 수 있습니다. | |
| 인체공학적 스테이지 옵션 | |
| •Quick release 수동 vacuum 스테이지는 사용자를 편안하고 효율성있게 사용할 수 있도록 최적화 됩니다. X - Y 제어 및 웨이퍼 회전은 표준에 따릅니다. •또한 검사 과정을 자동화하거나, 전동 스테이지는 조이스틱이나 미리 프로그램된 과정을 통해 제어할 수 있습니다. 하나의 푸시 버튼으로 로드 / 언로 드 위치와 홈 위치에서 스테이지를 조종할 수 있습니다. (전동 스테이지는 일부 지역에서 사용할 수 없습니다.) |
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| Wafer Loader AL120 Specifications*1 | ||||||||
| 200 mm Type | 200 mm / 150 mm Convertible Type | 150 mm Type | ||||||
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AL120-
LMB8- 90 |
AL120-
LMB86- 180 |
AL120-
L86- 180 |
AL120-
LMB86 |
AL120-
L86 |
AL120-
LMB6- 150 |
AL120-
L6- 150 | ||
| Wafer Size (SEMI Standard) | 200mm | 200mm / 150mm |
150mm /
125mm / 100mm | |||||
| Minimum Wafer Thickness | 90µm | 180µm | 400µm | 150µm | ||||
| Type of Cassette*2 | SEMI stad. 25 (26)-slot | |||||||
| Number of Cassette | 1 | |||||||
| Inspection Recipe | All / Sampling | |||||||
| Inspection Sequence | Micro (Microscope) | YES | YES | YES | YES | YES | YES | YES |
| Top Macro | YES | YES | YES | YES | ||||
| Back Macro | YES | YES | YES | YES | ||||
| 2nd. Back Macro | YES | YES | YES | YES | ||||
| Wafer Orientation (Every 90°) | Non-contact (O.F./Notch) | Non-contact (O.F.) | ||||||
| External Control*3 | YES | YES | YES | YES | YES | YES | YES | |
| Compatible Microscope Model | Olympus Semiconductor Inspection Microscope MX61 | |||||||
| Dimensions (mm) | 640 (W) x 620 (D) x 378 (H) Body Only, 1100 (W) x 620 (D) x 378 (H) with Microscope | 570 (W) x 620 (D) x 400 (H) Body Only, 980 (W) x 620 (D) x 400 (H) with Microscope | ||||||
| Weight (kg) (Main Body Only) | 44 | 44 | 41 | 44 | 41 | 40 | 37 | |
| Utility (Power Consumption/Vacuum) | AC100 V - 120 V, 1 A, or AC 220 V - 240 V, 0.5 A 50/60 Hz, -67 to -80 kpa, 20 Liter/min or higher | |||||||
*1 All types of wafers must be tested in advance, please contact your local Olympus office.
*2 Up to 10 types of wafer and/or cassette combinations can be registered at one time.
*3 Optional interface, Compatible OS: Windows7 (32-bit/64-bit)
