LEXT OLS4000 3D 레이저 측정 현미경은 1나노의 정밀한 3D 이미지구현으로 3D측정과 조도측정을 위한 장비입니다. 108배~17,280배의 배율을 가지며 오늘날 세계의 많은 연구분야에서 사용자들을 만족시키며 사용되고 있습니다.
| 한발 앞선 측정기능 | |
| 85도의 급경사면의 구현 | |
| OLS4000의 높은 해상도와 405nm의 광학시스템에 맞게 설계된 전용렌즈의 채택으로 기존에 측정 불가능했던 급경사면의 이미지를 손쉽게 취득할 수 있습니다. | |
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| 급경사면의 면도칼 | LEXT전용 렌즈 |
| 반사도가 다른 샘플도 손쉽게 | |
| 새롭게 개발된 듀얼컨포컬 시스템으로 LEXT OLS4000은 각기다른 반사도를 지닌 샘플도 깨끗하게 이미지 취득이 가능합니다 | |
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| 다양한 반사도를 가진 샘플 (다이아몬드 전착 샘플) |
듀얼컨포컬시스템 |
| 멀티레이어(다층)모드는 투명 레이어의 측정을 용이하게 합니다. | |
| 전통적으로, 레이저 현미경의 초점은 시편에 빛의 밝기(강도)가 가장 높을 때에 맞도록 설계되었습니다. 그러나 이 설계가 때로는 투명한 시편을 관찰할 때 레이저 빔이 투과해버리기 때문에 정확한 투명 시편의 모양을 식별하지 못했습니다. LEXT OLS4000의 새로운 다층 모드는 각 층별로 피크 점의 초점 포인트에 따라 반사되는 빛의 강도를 가지고 투명한 시편의 표면 관찰과 측정이 가능하게 할 뿐만 아니라 다층의 각 레이어의 두께 측정을 가능하게 합니다. | |
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| 투명한 물질의 가장 높은 표면의 관찰과 측정 일반적으로 레이저 스캐닝 현미경은 금속재질위의 투명한 필름 등을 관찰하고 측정하는 것이 어려웠습니다. OLS4000 멀티레이어 모드는 투명한 필름의 관찰과 측정을 용이하게 합니다. |
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| 금속재료의 표면 코팅 | |
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| 일반 모드 | 멀티레이어 모드 |
| 투명 소재의 여러 계층 분석 다층 모드는 또한 투명한 표본의 다중 레이어를 분석할 수 있습니다. 예를 들어, 유리 기판위의 투명 수지 층 경우에도 투명 소재뿐만 아니라 표면 필름의 두께까지 아래 층의 레이어의 형상과 거칠기도 측정할 수 있습니다. |
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| Polyimide film on a metal substrate | |
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| 20배 | |
| 다양한 반사도를 가진 샘플(다이아몬드 전착 샘플) | |
| OLYMPUS는 stages의 생산과 조립과정에서 고정밀도를 보증하기 위하여 높은 수준의 환경을 유지합니다. 항온조립라인에서 숙련된 OLYMPUS 엔지니어들이 고정밀도 기계를 주의깊게 선택하여, 섬세한 마무리 작업과 최종 검수를 통해 조립합니다. 모든 구성 파트와 완성된 제품은 엄격한 검증 시스템에서 완벽하게 통제됩니다. | |
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측정값에 영향을 주는 외부환경의 영향을 없애기 위해 OLS4000은 코일과 특수방진 고무를 이용한 하이브리드 진동감소 장치를 장착하였습니다. 따라서 전용 방진테이블이나 선반 없이도 진동없이 사용 가능합니다. |
| 하이브리드 진동 감소 장치 | |
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| 외부 진동의 영향을 받은 모습 | 진동방지장치로 인해 진동의 영향이 감소된 모습 |
| 세계 최초 정확도와 반복측정도 동시 보증 | |
| 측정도구와 정확도는 두가지 방법으로 검증됩니다. 하나는 "정확도"이며 또 다른 하나는 "반복측정도"입니다. "정확도"는 측정값과 실제 참값의 차이가 얼마나 가깝나 하는 것이고, "반복측정도"는 반복된 측정값들간의 변동치에 대한 값입니다. LEXT OLS4000은 레이저 현미경 최초로 "정확도" 와 "반복측정도"를 동시에 보증합니다. | |
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| 측정 | |
| 미세한 표면의 재현 | |
| 미분간섭 관찰법 (Differential Interference Contrast 관찰법)는 아주 미세한 부분을 위한 관찰법으로서, 일반적인 레이저 현미경의 해상도보다 훨씬 선명합니다. 이러한 DIC 관찰법은 비교적 저배율의 전자현미경보다 선명한 영상을 구현할 수 있습니다. | |
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| DIC를 사용한 레이저 컨포컬 이미지 (폴리머 필름) |
일반 레이저 컨포컬 이미지 (폴리머 필름) |
| 넓은 영역의 관찰 지원 | |
| 일반적으로 고배율 관찰은 좁은 영역밖에는 볼 수 없습니다. OLS4000의 앞선 스티칭 기능은 최대 500장까지도 선명하게 붙일 수 있어서 넓은 영역의 이미지 관찰이 가능합니다. 이렇게 스티칭된 이미지에서도 3차원 관찰과 측정이 가능합니다. |
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| 스티칭 후의 이미지 | 스티칭 전의 이미지 |
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| 스티칭된 3차원 이미지 | |
| 최상의 작업환경 | |
| 고객 ID관리 및 보안 강화 시스템 | |
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LEXT OLS4000 사용자는 개인아이디를 사용하여 로그인할 수 있고, 각각의 필요에 따라 작업환경 및 데이터베이스를 변경할 수 있습니다. 작업자의 아이디는 각각의 레포트 및 샘플 이미지에 표시되고, 관리자의 아이디로 로그인할 경우, 누가 레포트를 만들고 이미지를 찍었는지 한번에 확인할 수 있습니다. |
| 로그인 GUI | |
| 초보자도 안심하고 사용할 수 있는 마법사 기능 | |
| LEXT OLS4000의 마법사 기능으로 초보자도 쉽고 빠르게 현미경 사용을 할 수 있습니다. 이 마법사 기능으로 매뉴얼을 읽는 시간은 물론, 기나긴 교육에 참가하는 시간을 줄여 효과적인 시간 관리를 할 수 있습니다. | |
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| 마법사 기능 | |
| 자동측정 기능 *신뢰성 있는 연속 측정기능 | |
| 각 샘플상의 선택된 부분의 연속된 자동 측정을 정확하고 효과적으로 할 수 있습니다. LEXT OLS4000의 오토측정기능은 미리 작업자가 셋팅해놓은 값에 따라 샘플의 얼라인먼트부터 측정결과 취득까지의 일련의 과정을 자동으로 실행할 수 있습니다. *오토측정은 옵션 선택사항입니다. | |
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| 자동측정기능 | |
| 마크로맵 (크게보기 기능) | |
| 고배율 관찰시에는 보이는 영역이 좁기 때문에, 많은 작업자들이 샘플 상의 측정 위치를 놓치기 쉽습니다. LEXT OLS4000은 이러한 문제를 해결하기 위해 Macro Map (마크로 맵) 기능을 탑재했습니다. 화면은 늘 저배율의 넓은 영역의 이미지를 보여주고, 현재의 위치를 확인할 수 있도록 사각형으로 표시해줍니다. | |
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| 마크로맵 기능 (크게보기 기능) | |
| 모터라이징 리볼빙노스피스가 당신의 귀중한 샘플을 지켜드립니다. | |
| 이 table은 샘플의 수평을 쉽게 맞출 수 있습니다. | |
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LEXT OLS4000은 모터라이징 노스피스를 장착하고 있어서 배율변환을 위해 렌즈가 돌아갈 때, 샘플이 부딪히는 것을 방지해줍니다. 관찰할 렌즈를 선택할 때마다 렌즈는 자동으로 상승하여, 샘플과 부딪히는 것을 방지합니다. 이와 동시에 렌즈의 포커스 길이와 빛의 밝기를 계산하여 맞추어주기 때문에 배율변환이 무척 편리합니다. |
| M모터라이징 리볼빙노스피스 | |
| 인텔리전트 노이즈 감소 알고리즘 | |
| 올림푸스의 90년이 넘는 경험을 바탕으로, 숙련된 작업자의 노하우를 이 시스템안에 담아두었습니다. LEXT OLS4000에 새롭게 채택된 INR (Intelligent Noise Reduction) 알고리즘은 초보자일지라도 기술자 수준의 이미지를 취득할 수 있습니다. | |
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| INR 알고리즘의 장착후 | INR 알고리즘 장착전 |
| 사용자 지정 레포트 - 원하는 포맷으로 레포트를 만드세요 | |
| 보기 쉬운 레포트 양식은 계측장비에서 무척 중요한 기능입니다. LEXT OLS4000은 원클릭으로 측정 레프트를 만들어낼 수 있습니다. 또한 작업자가 자신에 맞게 레포트 양식을 변경할 수 있습니다. | |
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| 레포트 GUI | 완성된 레포트 형식 |
| 탁월한 표면 Roughness (거칠기) 분석 능력 | |
| 측정의 새로운 가능성, 새로운 방식의 "Roughness(거칠기) 측정" | |
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LEXT OLS4000은 표면의 프로파일 측정 뿐 아니라 표면 Roughness 측정법의 새로운 척도가 되어왔습니다. 그리고 표면구조의 측정에 이상적인 방법을 제공해왔습니다. 이 시스템은 Roughness 측정에 있어서, ISO 규격에 부합되어야 하는 바, 일반적인 Stylus 타입의 장비와 동일한 방법으로 보정했습니다. 이는 일반적인 사용자들이 기존에 보유하고 있는 장비와 일관성있는 데이터를 관리할 수 있을 뿐만 아니라 훨씬 빨라진 속도와 비접촉 측정의 편리함을 동시에 누릴 수 있도록 하기 위함입니다. LEXT OLS4000은 새로운 자동선 스티칭 기능으로 최대 100mm까지의 긴길이의 선조도 분석이 가능합니다. |
| Roughness(거칠기) 측정 GUI | |
| OLS4000과 접촉식 조도계의 프로파일 측정 비교 (총 프로파일 길이: 1.6mm) | |
| 총 프로파일의 길이: 1.6mm | |
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| 파라미터 리스트t | |
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| LEXT OLS4000 표면프로파일 파라미터 리스트 | |
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| LEXT OLS4000 표면적 Roughness ,파라미터 리스트 | |
| 미세 Roughness(거칠기) | |
| Stylus 타입의 장비는 스타일러스의 팁 지름보다 작은 부분은 측정할 수 없습니다. 레이저 현미경은 스팟사이즈가 작기 떄문에 더 좋은 해상도로 미세부분의 Roughness를 측정할 수 있습니다. | |
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| Stylus Roughness 측정 장비 | |
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| 레이저 현미경 | |
| 비접촉 | |
| Stylus 장비의 경우, 단단한 바늘형상의 스타일러스를 사용하고 있기 때문에 부드러운 샘플의 경우, 표면에 스크래치를 남기거나 형상을 변화시키기도 합니다. 이와 반대로, 점착성의 샘플의 경우, Stylus에 들러붙어서, 정확한 데이터를 취득하기 힘든 경우도 있습니다. 레이저 현미경은 비접촉 타입으로 표면의 상태에 관계없이 정확한 표면 roughness데이터를 취득할 수 있습니다. | |
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| 부드러운 샘플 | |
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| 점착성의 샘플 | |
| 미세 영역의 측정 | |
| Stylus 타입의 장비는 아주 미세한 부분은 접촉이 불가능하기 때문에 측정이 불가능합니다. 레이저 현미경은 측정위치를 쉽게 파악할 수 있고, 원하는 미세영역의 Roughness측정을 손쉽게 할 수 있습니다. |
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| 본딩 와이어 | |
| 3D Measuring Laser Microscope LEXT OLS4000 Specifications | ||||
| Optical System | UIS2 Optical System (Infinity-corrected) | |||
| Total Magnification | 108x - 17280x | |||
| Field of View | 2560x2560 - 16x16 µm | |||
| Microscope Frame | Observation Method | BF/DIC/Laser/Laser Confocal DIC | ||
| Laser | 405 nm Semiconductor Laser | |||
| White Light | White LED | |||
| Focus | Z Stage | Stroke | 100 mm | |
| Maximum Height of Specimen | 100 mm | |||
| Z Revolving Nosepiece | Stroke | 10 mm | ||
| Resolution | 0.01 µm | |||
| Repeatability | σn-1=0.012 µm | |||
| Objective Lens | 5x, 10x, 20x, 50x, 100x | |||
| Optical Zoom | 1x - 8x | |||
| Stage | Motorized Stage | 100x100 mm | ||
| Dimensions | 276(W)x358(D)x405(H) mm | |||
| Weight | 32 kg (Main Unit) | |||
