MX61A는 올림푸스 반도체 검사 전용 현미경으로 사용자가 오랜 시간동안 편안하게 사용할 수 있는 인체공학적인 디자인을 갖추었습니다. 장시간 검사할 수 있고, 작업의 통일성과 생산성을 향상시킬 수 있습니다.
| 우수한 광학 성능 | |
| 높은 수준의 영상 성능 | |
| MX61A는 새로운 UIS2광학 시스템의 도입을 통해 최고의 영상 성능을 낼 수 있도록 개선되었습니다. 명시야,암시야,미분간섭을 포함한 모든 조명 기술에서 선명하고 명확한 트루 컬러 이미지를 보여줍니다. MX61A의 암시야 관찰 이미지의 밝기는 이전의 OLYMPUS UIS 광학 시리즈에 비해 4배정도 밝아 졌습니다. |
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| 관찰 이미지 예 | |
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| 자동 조리개 조절에 의한 최적의 contrast | |
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통합된 전동타입의 조리개가 렌즈에 따라 자동적으로 조절됩니다. 각각의 배율에 따라 최상의 이미지 품질을 얻을 수 있고 사용자의 눈을 편하게 하여 규칙적인 검사를 더욱 효율적으로 만들어 줍니다. |
| Aperture Stop 조절 | |
| Active Laser Autofocus | |
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MX61A는 검사의 정확성과 속도를 위해 레이저 자동 초점 장치를 갖추고 있습니다.새로 개발된 multi-spot 센서의 도입은 표본의 수직지형의 영향을 제거하여 안정성을 크게 증가시키며 모든 관찰 방법에 대해 기대치보다 초과하며, 더 빨라지고 반복도가 상승합니다. |
| 고배율 렌즈와 Autofocus 기능 | |
| Active Laser Autofocus | |
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UIS2 대물렌즈 시리즈는 deep ultraviolet, 가시광선, 근적외선 관찰에서 높은 성능의 영상을 제공합니다. MX61A는 통합된 소프트웨어 플랫폼이나 핸드셋을 통해 쉽게 선택할 수 있는 시스템에서 명시야,암시야,미분간섭,형광과 근적외선 관찰법들을 호환하여 사용할 수 있습니다. |
| 대물렌즈 UIS2 Series | |
| 관찰 이미지 예 | |
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| 전동 컴포넌트의 통합 제어 | |
| 전동 컴포넌트의 통합 제어 | |
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OLYMPUS 는 디지털 카메라와 전동 스테이지를 포함한 모든 전동 기능을 제어하기 위해 MX61A 현미경 프레임과 함께 통합된 여러 소프트웨어 플랫폼을 제공합니다. 각 인터페이스는 기본적인 검사 및 제어, 고급 이미지 분석 및 반복적인 사이트 검사 및 결함 검토를 위해 설계되었습니다. |
| 통합된 현미경 및 소프트웨어 시스템 | |
| 전동 컴포넌트의 통합 제어 | |
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이 소프트웨어는 매우 유연하게 제작되어 사용자가 현미경의 전동 장비( Objective turret, 조명 기술, 조리게, 오토포커스 ) 와 세계적으로 유명한 OLYMPUS DP 디지털 카메라의 전동 기능을 컨트롤 할 수 있도록 설계되었습니다. 라이브 영상을 통해 사용자가 모니터상으로 이미지를 볼 수 있게하고 스테이지 컨트롤 화면을 통해 보고자 하는 곳으로 이동하여 볼 수 있게 합니다. 한 번의 마우스 버튼 클릭으로 몇몇의 단계가 쉽고 간편하게 진행되며 사용자에 맞게 최적으로 설정할 수 있습니다. |
| 현미경 제어 소프트웨어 GUI | |
| 인체공학적인 디자인 | |
| SEMI S2 & S8 Standards 적용 | |
| MX61A는 SEMI( Semiconductor Equipment and Materials International) S2와 S8 기준에 따라 웨이퍼에 안전하고 인체공학적이게 제작되었으며, CE도 표시되어 있습니다. | |
| Observation Tube 조절 | |
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Observation Tube 조절의 넓은 범위는 사용자가 앉아서 적절한 자세를 취하여 안정적이고 편안한 작업을 할 수 있습니다. |
| Observation Tube 조절 | |
| 전동 Nosepieces의 향상된 검사 속도 | |
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초고속 전동 nosepiece 의 회전 속도는 clean room과의 호환성을 유지하면서 검사 간의 속도를 줄여줍니다. OLYMPUS는 이상적인 검사방법을 위해 3가지 종류의 제어방식을 제공합니다. 소프트웨어, 프레임 버튼, 독립적인 핸드셋. |
| 전동 Nosepieces | |
| Rigid Frame Design | |
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OLYMPUS는 100배,150배 대물렌즈를 사용할 때 진동으로 인한 흐림을 최소화하고 이미지의 해상도와 contrast를 최대화 하기 위하여 견고하고 진동에 민감함 MX61A 프레임을 채택하였습니다. |
| 고배율의 관찰 이미지 | |
| Handset for Tactile Control | |
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인체공학적으로 설계된 핸드셋은 렌즈 선택과 관찰법을 선택하기 위해 현미경의 전동기능을 제어할 수 있는 버튼을 제공합니다. 사용자는 오토포커스 유닛의 TRACE 와 ONE SHOT을 조절할 수 있고, 수동 미세 초점, DIC의 위치 조절, 램프 강도, 샘플 교체를 위한 스테이지 낮추기 도 조절 가능합니다. |
| Handset | |
| Complimentary Inspection Solutions | |
| 웨이퍼 핸들러 솔루션 | |
 웨이퍼 로더 결합 |
MX61A 프레임은 OLYMPUS 의 AL120 웨이퍼 핸들러와 원활하게 호환됩니다. 인체 공학적 디자인을 유지하면서 OLYMPUS 웨이퍼 로더 시리즈는 카세트에서 현미경 스테이지에 여러 크기의 실리콘 및 화합물 반도체 웨이퍼를 모두 전송할 수 있습니다. S2와 S8 표준을 모두 준수한 AL120는 특정 카세트 타입, 웨이퍼 규격과 전송 속도 등 10개의 시스템 설정을 구성하여 프로그래밍할 수 있습니다. 빠른 푸시 버튼은 사용자가 즉시 다른 제품을 로드할 수 있도록 합니다. 비 접촉 광학 센터링, 노치 / 플랫 검색과 정렬은 웨이퍼 접촉을 줄이고 청결도을 증가시켜 줍니다. 세계적으로 유명한 성능과 안정성을 갖춘 OLYMPUS 웨이퍼 핸들러 AL120은 90μm 두께의 웨이퍼까지 전송할수 있어 얇은 웨이퍼 제조업체의 요구를 충족할 수 있습니다. |
| 고성능 전동 스테이즈 | |
| MX61L/MX61은 높은 강도의 광원과 미러 큐브를 추가하여 형광관찰을 할 수 있습니다. 형광관찰은 resist residuals 와 유기 입자 등의 샘플을 쉽게 검출하는데 유용합니다. | |
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높은 정확도의 전동 스테이지를 MX61A 현미경과 함께 사용할 수 있습니다. 조이스틱과 소프트웨어로 조종이 가능한 전동 스테이지는 검사의 반복도를 높이고 인체공학적이라 검사할 수 있는 작업시간을 연장시켜줍니다. |
| 전동 스테이즈 | |
| Automatic Semiconductor Inspection Microscope MX61A Specifications | |||
| Optical System | UIS2 Optical System (Infinity-corrected) | ||
| Microscope Frame | Observation Method | BF/DF/DIC/KPO*/FL | |
| Reflected/Transmitted | Reflected | ||
| Illuminator | Microscope Frame All-in-one (BF, DF + 1 Option) | ||
| Illumination System | Reflected Light | 100 W Halogen/100 W Mercury/75 W Xenon | |
| Transmitted Light | - | ||
| Focus | Motorized/Manual | Motorized | |
| Stroke | 25.4 mm | ||
| Resolution/Fine Adjustment Sensitivity | Resolution 0.01 µm | ||
| Maximum Specimen Height | 24 mm | ||
| Revolving Nosepiece | Motorized Type |
Sextuple for BF/DIC
Quintuple for BF/DF/DIC Centerable Quintuple for BF/DF/DIC Sextuple for BF/DF/DIC | |
| Manual Type | - | ||
| Stage | Stroke |
14x12 inch Right Handle Stage:
356(X)x305(Y)mm 8x8 inch Right Handle Stage: 210(X)x210(Y)mm | |
| Observation Tube | Widefield (Field Number 22) | Inverted Image | - |
| Erect Image | - | ||
| Super Wide Field (Field Number 26.5) | Inverted Image | - | |
| Erect Image | Tilting Trinocular Observation Tube | ||
| Option Unit | Auto Focus/IR Unit/Motorized Stage/Wafer Loader | ||
| Dimensions | 711(W)x853(D)x552(H)mm (in Standard Combination) | ||
| Weight | 56 kg (in Standard Combination) | ||
| Remark | *Simple Polarized Light Observation | ||
